双级真空泵和单级真空泵的主要区别在于其内部结构和工作原理。

单级真空泵只有一个旋转叶轮，将气体吸入并排出。在吸气压力下，单级真空泵可以达到大约1毫巴的真空度，但是在更低的压力下，单级真空泵的效率会降低。

双级真空泵则有两个旋转叶轮，第一级旋转叶轮将气体吸入并排出到第二级旋转叶轮。第二级旋转叶轮将气体再次压缩并排出，从而实现更高的真空度。双级真空泵可以在更低的压力下工作，通常可以达到0.1毫巴的真空度。

单级旋片式真空泵和双级旋片式真空泵的润滑方法的适用范围不同。双级旋片式真空泵中有效的分馏作用使其更适于在低压强(低于1Torr)下工作。

油分解产生的污染要出现在大气级的油中，并且它对*级性能的影响是不太大的，这意味着两次换油之间相当长的时间内可以满意地工作。使用气镇有助于得到使油净化的效果，而在泵的入口处，只会增加千分之几Torr的空气分压强，同时降低了工作噪声。即使没有气镇，双级旋片式真空泵的噪声水平一般也比单级旋片式真空泵低。大气级的高油流率产生的液压噪声，在高真空级是不存在的。低的油流率使得双级旋片式真空泵适于低压强下工作，而不适于在高压强下持续工作。

对于大的气体质量流，当高真空级储油池的油耗尽时，面对强气流，油是无法反溅流入泵腔中的。所以，当必须在高压强(约l0Torr以上)下持续工作时，应强制性地提供油，以进行润滑。

单级旋片式真空泵的润滑系统是基于差压原理，它在低于500-600Torr的压强下，就能很好地工作。当入口压强较高时，油路的气体反流阻止了油的流动，只有强制性供油才能在500Torr以上的压强下连续工作。在必须处理大质旦流率时，单级旋片式真空泵通常要考虑设置油气分离器。