1、真空泵过载、电机烧掉：电机内轴承损坏、泵头卡死、电机线圈烧掉、泵头的连轴器与电机联轴器配合过紧。

2、真空度不足：叶片磨损或叶片甩不出来、密封件老化漏气、管路漏气或进气口堵塞。

3、真空泵有异响：叶片损坏、轴承损坏、端盖与转子磨、马达轴承损坏。

4、真空泵温度高：轴承损坏、转子与端盖磨损、散热风扇断裂等。

5、管道泄漏：有时候管道会因为不同的原因出现泄露现象，这时我们需要找专业的人来进行排除检查，看是否是因为这个的原因。

6、也可能是泵内漏，这就说明泵本身出了问题，我们应该找找看具体是哪个地方漏了，然后进行焊接补漏。

7、真空泵供水温度高：长时间使用泵，连续的运作，设备本身很容易出现这样的现象，这时候我们需要紧急停下，让设备休息几分钟，对其进行冷却。

8、另外真空泵的真空压力都是一样的，不一样的只是流量的大小，如果真的吸力不够，最简单的方法就是把吸盘改大。

9、如果吸附时漏气较大，应通过增加真空泵加大流量，如果力度不够应加大吸附面积，如果吸附面积大时，薄板出现变形，应该为多个吸附口。