莱诺致力于新能源的开发和研究为光伏行业提供专业的真空解决方案。蚀刻,PECVD和层压 — 在莱诺您将找到高质量和高可靠性真空系统,以获得最佳性能。
优势
光伏
晶体硅、CdTe、 CIGS 或硅薄膜技术等多种制程来生产捕获阳光并将其转换为能量的光伏电池,这些离不开真空技术的发展。
光伏电池生产
从硅晶体拉制到太阳能电池的生产,到太阳能模块的层叠 — 这些制造过程没有真空是不可能的。是否关注结晶或薄膜涂层无关紧要-量身定制的真空解决方案是光伏生产的一个关键因素。随着太阳能电池板生产量的提高,这一生产领域变得越来越重要。莱诺为这一市场提供高品质的产品和出色的解决方案。
层压
太阳能电池的层压过程在于封装太阳能电池,同时连接前后保护板。为了达到最佳效果,莱诺用其干压缩螺杆真空泵 SCREWLINE,其提供的真空泵抽速完全适合于此应用。干式螺杆真空泵性能优势:被优化用于处理层压过程中产生的副产品,高运行时间和低维护成本,高耐蒸气性和粒子兼容性,便于现场清洗,低操作成本,最低限度的维护、延长的服务间隔
薄膜
薄膜是一层厚度在纳米级到几个微米之间的材料。薄膜技术在过去的几十年中已有所改进,需要可靠的产品以达到最好的质量。对于薄膜沉积过程,莱诺可以使用高性能干式泵送系统提供同类最佳的真空设备,满足该应用的要求。
单晶硅片基模块
单级旋片泵与罗茨鼓风机组合,专为加载锁和传送腔的快速抽空而设计,用于低真空范围的稳健真空发生器,高可靠性,成本优化